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操作微(wei)橋(qiao)(qiao)(qiao)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)根(gen)據(ju)(ju)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)熱(re)(re)(re)理論操作。質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)穿(chuan)過(guo)(guo)(guo)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)表面。輸(shu)出(chu)(chu)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)隨空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)或(huo)通(tong)過(guo)(guo)(guo)包(bao)裝進出(chu)(chu)口的(de)(de)(de)(de)(de)其(qi)(qi)他氣(qi)(qi)(qi)體流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)而成比(bi)例(li)變(bian)(bian)化。特殊(shu)設計(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)外殼***地引導(dao)和(he)(he)(he)控(kong)(kong)制(zhi)通(tong)過(guo)(guo)(guo)微(wei)結(jie)構(gou)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)。微(wei)橋(qiao)(qiao)(qiao)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)采用(yong)(yong)(yong)***微(wei)結(jie)構(gou)技(ji)術，具有***的(de)(de)(de)(de)(de)硅芯(xin)片。它由(you)一(yi)(yi)(yi)個(ge)薄膜(mo)，熱(re)(re)(re)隔離(li)橋(qiao)(qiao)(qiao)梁結(jie)構(gou)，包(bao)含加熱(re)(re)(re)器(qi)(qi)(qi)和(he)(he)(he)溫(wen)度(du)(du)(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)。橋(qiao)(qiao)(qiao)結(jie)構(gou)對(dui)芯(xin)片上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)或(huo)其(qi)(qi)他氣(qi)(qi)(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)動提供(gong)了(le)靈敏和(he)(he)(he)快速的(de)(de)(de)(de)(de)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)。位(wei)于(yu)中(zhong)央加熱(re)(re)(re)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)兩側(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)雙傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)指示流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)向和(he)(he)(he)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)速。激(ji)光修整的(de)(de)(de)(de)(de)厚膜(mo)和(he)(he)(he)薄膜(mo)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)器(qi)(qi)(qi)提供(gong)了(le)從一(yi)(yi)(yi)個(ge)設備到另(ling)一(yi)(yi)(yi)個(ge)設備的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)致互換性。，微(wei)橋(qiao)(qiao)(qiao)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)沉積在氮化硅薄膜(mo)內的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)(du)敏感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)器(qi)(qi)(qi)。它們以(yi)(yi)兩座橋(qiao)(qiao)(qiao)的(de)(de)(de)(de)(de)形式懸掛在硅的(de)(de)(de)(de)(de)蝕(shi)刻(ke)腔上(shang)。芯(xin)片位(wei)于(yu)***尺寸的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)通(tong)道中(zhong)，以(yi)(yi)提供(gong)可(ke)重復的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)。通(tong)過(guo)(guo)(guo)刻(ke)蝕(shi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)橋(qiao)(qiao)(qiao)下的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)(kong)(kong)腔空(kong)(kong)(kong)(kong)間，實現了(le)加熱(re)(re)(re)器(qi)(qi)(qi)和(he)(he)(he)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)效熱(re)(re)(re)隔離(li)。微(wei)橋(qiao)(qiao)(qiao)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)小(xiao)型化和(he)(he)(he)熱(re)(re)(re)隔離(li)使(shi)(shi)其(qi)(qi)對(dui)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)速度(du)(du)(du)和(he)(he)(he)靈敏度(du)(du)(du)極高(gao)(gao)。雙惠(hui)斯通(tong)橋(qiao)(qiao)(qiao)控(kong)(kong)制(zhi)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)——一(yi)(yi)(yi)個(ge)提供(gong)閉環加熱(re)(re)(re)器(qi)(qi)(qi)控(kong)(kong)制(zhi)，另(ling)一(yi)(yi)(yi)個(ge)包(bao)含雙傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)元(yuan)(yuan)件(jian)(jian)(jian)。加熱(re)(re)(re)器(qi)(qi)(qi)電(dian)(dian)路(lu)通(tong)過(guo)(guo)(guo)提供(gong)與質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)成比(bi)例(li)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)，將(jiang)環境(jing)溫(wen)度(du)(du)(du)變(bian)(bian)化引起的(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)移減至***小(xiao)。該(gai)電(dian)(dian)路(lu)將(jiang)加熱(re)(re)(re)器(qi)(qi)(qi)溫(wen)度(du)(du)(du)保持(chi)在高(gao)(gao)于(yu)環境(jing)空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)溫(wen)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)恒定(ding)溫(wen)差(cha)（160°C），該(gai)溫(wen)差(cha)由(you)芯(xin)片上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)(re)沉電(dian)(dian)阻(zu)(zu)器(qi)(qi)(qi)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)測(ce)。設備的(de)(de)(de)(de)(de)比(bi)率電(dian)(dian)壓(ya)(ya)輸(shu)出(chu)(chu)與惠(hui)斯通(tong)電(dian)(dian)橋(qiao)(qiao)(qiao)電(dian)(dian)路(lu)上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)差(cha)分(fen)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)相對(dui)應(ying)(ying)(ying)。，注意(yi)可(ke)能(neng)導(dao)致某些應(ying)(ying)(ying)用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)污染的(de)(de)(de)(de)(de)影響(xiang)可(ke)以(yi)(yi)***小(xiao)化。根(gen)據(ju)(ju)設計(ji)(ji)，氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)中(zhong)可(ke)能(neng)存在的(de)(de)(de)(de)(de)粉(fen)塵(chen)顆粒(li)將(jiang)平(ping)行于(yu)芯(xin)片表面流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)過(guo)(guo)(guo)芯(xin)片。此外，微(wei)結(jie)構(gou)芯(xin)片會(hui)產生熱(re)(re)(re)泳(yong)效應(ying)(ying)(ying)，使(shi)(shi)微(wei)米大(da)小(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)顆粒(li)遠離(li)橋(qiao)(qiao)(qiao)接結(jie)構(gou)。，一(yi)(yi)(yi)個(ge)簡單的(de)(de)(de)(de)(de)過(guo)(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)(qi)可(ke)以(yi)(yi)防止灰塵(chen)粘附在芯(xin)片邊緣和(he)(he)(he)通(tong)道表面。在大(da)多數應(ying)(ying)(ying)用(yong)(yong)(yong)中(zhong)，可(ke)通(tong)過(guo)(guo)(guo)在氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)裝置上(shang)游側(ce)串聯使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)5微(wei)米一(yi)(yi)(yi)次(ci)性過(guo)(guo)(guo)濾(lv)器(qi)(qi)(qi)實現充分(fen)過(guo)(guo)(guo)濾(lv)，警告產品損壞AWM系列微(wei)橋(qiao)(qiao)(qiao)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)不是設計(ji)(ji)用(yong)(yong)(yong)于(yu)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)測(ce)液體流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)，并且會(hui)被流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)經傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)液體流(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)損壞。不遵(zun)守(shou)這些說明可(ke)能(neng)會(hui)導(dao)致產品損壞。

放大流量傳感器 AWM40000 系列 AWM40000 系列質量流量傳感器系列基于經驗證的微橋技術，且包括放大的信號調節設備和僅非放大的傳感器設備。
使用非放大的設備（AWM42150VH 和 AWM42300V）時，需要符合規格的加熱器控制電路和感應橋接電源電路以進行操作。
這兩種電路不含在板載傳感器上，因此必須在應用中提供。
差分放大器電路非常適合提供輸出增益和/或產生傳感器輸出電壓偏置。
放大設備（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高輸出增益和產生電壓偏置。
差分儀器放大器電路、加熱器控制電路和感應橋接電源電路均在板載放大傳感器中提供。
特(te)點(dian)和(he)(he)優勢(shi) ? 歧管(guan)安(an)裝/O 形環密封 ? 陶瓷(ci)流量管(guan)（非脫氣(qi)性(xing)），0 至(zhi) 1000 sccm ? 高(gao)共模壓力（***150 psi 陶瓷(ci)流量管(guan)） ? 工作溫度高(gao)達 125°C ? 零(ling)標度和(he)(he)全標度高(gao)穩(wen)定性(xing) 產品(pin)應用(yong)信息(xi) ? 減(jian)震器(qi)控(kong)制用(yong)于加熱、通風(feng)和(he)(he)空調(diao)系(xi)統 ? 氣(qi)體分(fen)析儀(yi) ? 低真空控(kong)制 ? 過程控(kong)制 ? 醫療呼吸器(qi)和(he)(he)通風(feng)機(ji) ? 氧氣(qi)濃縮器(qi) ? 泄(xie)漏(lou)檢(jian)測設(she)備(bei) ? 通氣(qi)罩 ? 麻醉控(kong)制 ? 氣(qi)體計量 ? 氣(qi)體色譜分(fen)析