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AWM42300V 氣體流量(liang)傳感器描述

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操作微(wei)(wei)(wei)橋(qiao)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)根據傳(chuan)(chuan)(chuan)熱(re)理論操作。質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)穿過(guo)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面(mian)(mian)(mian)。輸出(chu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)隨空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)或通(tong)(tong)過(guo)包(bao)裝進出(chu)口的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)其他(ta)(ta)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)而成比例(li)變(bian)化(hua)。特殊設(she)計的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)外(wai)殼***地引導(dao)和(he)(he)控制通(tong)(tong)過(guo)微(wei)(wei)(wei)結(jie)構(gou)(gou)(gou)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)。微(wei)(wei)(wei)橋(qiao)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)采用***微(wei)(wei)(wei)結(jie)構(gou)(gou)(gou)技術，具有***的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)硅芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)。它由一(yi)個薄膜(mo)(mo)，熱(re)隔離橋(qiao)梁結(jie)構(gou)(gou)(gou)，包(bao)含(han)(han)加(jia)熱(re)器(qi)(qi)和(he)(he)溫(wen)度傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)。橋(qiao)結(jie)構(gou)(gou)(gou)對(dui)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)或其他(ta)(ta)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)動提供了靈(ling)敏(min)和(he)(he)快速的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)。位(wei)于中央加(jia)熱(re)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)兩側的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)雙(shuang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)指示流(liu)(liu)(liu)向和(he)(he)流(liu)(liu)(liu)速。激光修整(zheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)膜(mo)(mo)和(he)(he)薄膜(mo)(mo)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)器(qi)(qi)提供了從(cong)一(yi)個設(she)備(bei)(bei)到另一(yi)個設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)致(zhi)互(hu)換性。，微(wei)(wei)(wei)橋(qiao)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)使用沉積在(zai)氮化(hua)硅薄膜(mo)(mo)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)度敏(min)感(gan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)器(qi)(qi)。它們以兩座橋(qiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)式懸掛在(zai)硅的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)蝕刻腔上。芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)位(wei)于***尺寸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)通(tong)(tong)道(dao)中，以提供可重復的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)。通(tong)(tong)過(guo)刻蝕流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)橋(qiao)下(xia)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)腔空(kong)(kong)間，實(shi)現(xian)了加(jia)熱(re)器(qi)(qi)和(he)(he)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)高效(xiao)熱(re)隔離。微(wei)(wei)(wei)橋(qiao)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)小(xiao)型化(hua)和(he)(he)熱(re)隔離使其對(dui)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)速度和(he)(he)靈(ling)敏(min)度極高。雙(shuang)惠斯通(tong)(tong)橋(qiao)控制氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)——一(yi)個提供閉環(huan)加(jia)熱(re)器(qi)(qi)控制，另一(yi)個包(bao)含(han)(han)雙(shuang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)(yuan)件(jian)(jian)。加(jia)熱(re)器(qi)(qi)電(dian)(dian)(dian)路通(tong)(tong)過(guo)提供與質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)成比例(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出(chu)，將環(huan)境(jing)溫(wen)度變(bian)化(hua)引起的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)移減(jian)至***小(xiao)。該電(dian)(dian)(dian)路將加(jia)熱(re)器(qi)(qi)溫(wen)度保持在(zai)高于環(huan)境(jing)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)溫(wen)度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)恒(heng)定溫(wen)差(cha)（160°C），該溫(wen)差(cha)由芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)沉電(dian)(dian)(dian)阻(zu)器(qi)(qi)感(gan)測(ce)。設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)比率電(dian)(dian)(dian)壓(ya)輸出(chu)與惠斯通(tong)(tong)電(dian)(dian)(dian)橋(qiao)電(dian)(dian)(dian)路上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)差(cha)分電(dian)(dian)(dian)壓(ya)相對(dui)應(ying)(ying)(ying)。，注(zhu)意可能導(dao)致(zhi)某(mou)些應(ying)(ying)(ying)用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)(chen)污染(ran)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響(xiang)可以***小(xiao)化(hua)。根據設(she)計，氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)中可能存在(zai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)粉(fen)塵(chen)(chen)顆粒將平行于芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)表面(mian)(mian)(mian)流(liu)(liu)(liu)過(guo)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)。此外(wai)，微(wei)(wei)(wei)結(jie)構(gou)(gou)(gou)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)產生熱(re)泳效(xiao)應(ying)(ying)(ying)，使微(wei)(wei)(wei)米大(da)小(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)(chen)顆粒遠離橋(qiao)接結(jie)構(gou)(gou)(gou)。，一(yi)個簡單的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)(qi)將防(fang)止灰塵(chen)(chen)粘附在(zai)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)邊緣和(he)(he)通(tong)(tong)道(dao)表面(mian)(mian)(mian)。在(zai)大(da)多(duo)數應(ying)(ying)(ying)用中，可通(tong)(tong)過(guo)在(zai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)裝置上游側串聯(lian)使用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)5微(wei)(wei)(wei)米一(yi)次性過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)(qi)實(shi)現(xian)充分過(guo)濾(lv)(lv)，警告產品(pin)損(sun)壞AWM系列微(wei)(wei)(wei)橋(qiao)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)不是設(she)計用于感(gan)測(ce)液(ye)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)，并(bing)且(qie)會(hui)(hui)被(bei)流(liu)(liu)(liu)經傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)液(ye)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)損(sun)壞。不遵守這(zhe)些說明可能會(hui)(hui)導(dao)致(zhi)產品(pin)損(sun)壞。