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AWM42150VH 氣體流量傳感器描(miao)述

• 操(cao)作微(wei)橋(qiao)(qiao)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)根據傳(chuan)(chuan)熱(re)(re)理論操(cao)作。質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)穿過傳(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面(mian)。輸出(chu)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓隨空(kong)氣(qi)(qi)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)或通過包(bao)裝進(jin)出(chu)口的(de)(de)(de)(de)(de)(de)其他氣(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)而成比例(li)變化(hua)。特殊設(she)計的(de)(de)(de)(de)(de)(de)外殼 地引導和控制(zhi)通過微(wei)結構(gou)傳(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)。微(wei)橋(qiao)(qiao)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)采(cai)用(yong) 微(wei)結構(gou)技術，具有 的(de)(de)(de)(de)(de)(de)硅(gui)芯(xin)(xin)片。它由一(yi)個(ge)(ge)薄膜(mo)，熱(re)(re)隔(ge)離橋(qiao)(qiao)梁結構(gou)，包(bao)含(han)(han)加(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)和溫(wen)(wen)度傳(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)件。橋(qiao)(qiao)結構(gou)對芯(xin)(xin)片上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)(qi)或其他氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)動提供(gong)了靈敏和快速(su)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)響應。位(wei)(wei)于(yu)中央加(jia)(jia)熱(re)(re)元(yuan)(yuan)件兩側的(de)(de)(de)(de)(de)(de)雙傳(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)件指示流(liu)(liu)(liu)向和流(liu)(liu)(liu)速(su)。激(ji)光(guang)修(xiu)整的(de)(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)膜(mo)和薄膜(mo)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻器(qi)(qi)(qi)提供(gong)了從一(yi)個(ge)(ge)設(she)備(bei)到另一(yi)個(ge)(ge)設(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)致(zhi)互換性。，微(wei)橋(qiao)(qiao)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)使(shi)用(yong)沉積在(zai)氮化(hua)硅(gui)薄膜(mo)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度敏感(gan)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻器(qi)(qi)(qi)。它們以(yi)兩座橋(qiao)(qiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)形式懸掛(gua)在(zai)硅(gui)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)蝕(shi)刻(ke)腔上。芯(xin)(xin)片位(wei)(wei)于(yu) 尺寸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)通道中，以(yi)提供(gong)可(ke)重復的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)響應。通過刻(ke)蝕(shi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)橋(qiao)(qiao)下的(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)腔空(kong)間(jian)，實現(xian)了加(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)和傳(chuan)(chuan)感(gan)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻的(de)(de)(de)(de)(de)(de)高效熱(re)(re)隔(ge)離。微(wei)橋(qiao)(qiao)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)小(xiao)型化(hua)和熱(re)(re)隔(ge)離使(shi)其對流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)響應速(su)度和靈敏度極(ji)高。雙惠斯通橋(qiao)(qiao)控制(zhi)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)測量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)——一(yi)個(ge)(ge)提供(gong)閉環(huan)加(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)控制(zhi)，另一(yi)個(ge)(ge)包(bao)含(han)(han)雙傳(chuan)(chuan)感(gan)元(yuan)(yuan)件。加(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)電(dian)(dian)(dian)(dian)路通過提供(gong)與質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)成比例(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出(chu)，將(jiang)環(huan)境溫(wen)(wen)度變化(hua)引起的(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移減至(zhi) 小(xiao)。該電(dian)(dian)(dian)(dian)路將(jiang)加(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)(qi)溫(wen)(wen)度保(bao)持在(zai)高于(yu)環(huan)境空(kong)氣(qi)(qi)溫(wen)(wen)度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)恒定溫(wen)(wen)差(cha)（160°C），該溫(wen)(wen)差(cha)由芯(xin)(xin)片上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)沉電(dian)(dian)(dian)(dian)阻器(qi)(qi)(qi)感(gan)測。設(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)比率電(dian)(dian)(dian)(dian)壓輸出(chu)與惠斯通電(dian)(dian)(dian)(dian)橋(qiao)(qiao)電(dian)(dian)(dian)(dian)路上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差(cha)分(fen)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓相對應。，注意可(ke)能(neng)導致(zhi)某些應用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)污染(ran)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影(ying)響可(ke)以(yi) 小(xiao)化(hua)。根據設(she)計，氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)中可(ke)能(neng)存在(zai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)粉塵(chen)顆粒(li)將(jiang)平行(xing)于(yu)芯(xin)(xin)片表面(mian)流(liu)(liu)(liu)過芯(xin)(xin)片。此外，微(wei)結構(gou)芯(xin)(xin)片會產(chan)生熱(re)(re)泳(yong)效應，使(shi)微(wei)米大小(xiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)灰(hui)塵(chen)顆粒(li)遠離橋(qiao)(qiao)接結構(gou)。，一(yi)個(ge)(ge)簡單的(de)(de)(de)(de)(de)(de)過濾(lv)(lv)器(qi)(qi)(qi)可(ke)以(yi)防止灰(hui)塵(chen)粘附在(zai)芯(xin)(xin)片邊(bian)緣和通道表面(mian)。在(zai)大多數應用(yong)中，可(ke)通過在(zai)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)裝置(zhi)上游側串聯使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)5微(wei)米一(yi)次性過濾(lv)(lv)器(qi)(qi)(qi)實現(xian)充分(fen)過濾(lv)(lv)，警告產(chan)品(pin)損(sun)壞(huai)(huai)AWM系(xi)列微(wei)橋(qiao)(qiao)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)不是(shi)設(she)計用(yong)于(yu)感(gan)測液體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，并且會被流(liu)(liu)(liu)經傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)液體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)損(sun)壞(huai)(huai)。不遵守(shou)這些說明可(ke)能(neng)會導致(zhi)產(chan)品(pin)損(sun)壞(huai)(huai)。