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AWM5000 系列氣體質(zhi)量(liang)流量(liang)傳(chuan)感器, 放大, 流量(liang)/壓力范圍(wei):0 SLPM 至(zhi) 20.0 SLPM; 螺(luo)紋(wen)端口式, ? NPT,AWM5000 系列微橋氣體質(zhi)量(liang)流量(liang)傳(chuan)
感(gan)器采(cai)用文丘里管(guan)型流量外殼(ke)。該系列測量每分鐘(zhong)高達 20 標準(zhun)公升/每分鐘(zhong) (SLPM) 的(de)氣流,同時產生 2.25" H2O 的(de)最(zui)大(da)壓降。2微橋芯(xin)片直(zhi)接與
氣流接觸(chu),大大減少了由于通氣孔或旁(pang)路堵塞引起(qi)的誤差。